【摘 要】
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我们从八十年代中期研究的一种倒阱工艺,采用高能注阱,使杂质峰位于阱内,形成载流子减速场,有利于克服常规工艺的自锁效应。阱深可由6～7μm降为2μm左右,能克服常规工艺的许多
【机 构】
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中国华晶电子集团公司中央研究所,中国华晶电子集团公司中央研究所,中国华晶电子集团公司中央研究所 无锡 214061,无锡 214061,无锡 214061
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我们从八十年代中期研究的一种倒阱工艺,采用高能注阱,使杂质峰位于阱内,形成载流子减速场,有利于克服常规工艺的自锁效应。阱深可由6～7μm降为2μm左右,能克服常规工艺的许多局限性,工艺简单,省掉高温推阱工艺,有利于大圆片低温工艺实现。
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