【摘 要】
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有3种不同尺寸,它们能够工作在超高真空或非真空条件,这些过程中部要求严格避免污染。开发者已经克服了以前存在的温度、放气、轴承磨损等问题。这些电机经过特殊设计,并选
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有3种不同尺寸,它们能够工作在超高真空或非真空条件,这些过程中部要求严格避免污染。开发者已经克服了以前存在的温度、放气、轴承磨损等问题。这些电机经过特殊设计,并选用了具有低放气量和良好温度特性的材料制成。只要
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