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总结了最新发展起来的两种绝缘体上硅晶片制造技术,给出了绝缘体上硅新器件、新结构和新工艺研究进展,提出绝缘体上硅技术所面临的机遇和挑战.
新型绝缘体上硅技术的发展与展望
【摘 要】
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总结了最新发展起来的两种绝缘体上硅晶片制造技术,给出了绝缘体上硅新器件、新结构和新工艺研究进展,提出绝缘体上硅技术所面临的机遇和挑战.
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
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西安电子科技大学学报
【发表日期】
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2001年6期
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