【摘 要】
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激光划切机能在高速加工情况下切割LED晶圆获得干净的断裂面．形成窄而深的激光划切槽，要达到这样的工艺效果就要求激光划切工作平台N时具有较高的响应速度、准确的定位精度以及
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
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激光划切机能在高速加工情况下切割LED晶圆获得干净的断裂面．形成窄而深的激光划切槽，要达到这样的工艺效果就要求激光划切工作平台N时具有较高的响应速度、准确的定位精度以及重复精度。首先对直线电机的原理进行研究，根据其外形特点不同进行分类，通过对比为精密工作台系统选择合适的直线电机类型，建立动力学数学模型，研究直线电机在精密工作台系统的应用。
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