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本文回顾了近50多年来在超高／极高真空测量方面所取得的重要进展。内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源（如spjndt阴极和碳纳米管场发射阴极）和真空的激光电离测量技术在超高／极高真空测量中的应用、小型化超高／极高真空电离规的发展以及我国在超高／极高真空测量方面的研究进展等，从中可对超高／极高真空测量的发展历史和现状有一个完整的了解。