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1 简介rn现在各种产业对衍射、折射式和混合式的微小光学器件有着强烈的需求.随着这一领域的快速发展,已为微小光学元件的制造、复制和后期加工研制出许多方法,包括电子束刻蚀、光刻蚀、铸模、钻石切削和其它技术.
利用准分子激光刻蚀法在光学玻璃上快速制作耐用的相位透射光栅
【摘 要】
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1 简介rn现在各种产业对衍射、折射式和混合式的微小光学器件有着强烈的需求.随着这一领域的快速发展,已为微小光学元件的制造、复制和后期加工研制出许多方法,包括电子束刻
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2000年2期
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