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采用称量法,使用不同处理方式的铝合金气瓶制备微量氟化氢标准气体,对微量氟化氢制备的适用气瓶进行筛选。选用吸附性较小的气瓶,对其进行预饱和处理,考察了预饱和氟化氢样品的浓度、预饱和时间和残留压力对微量氟化氢标准气体制备的影响。同时,考察了制备装置对微量氟化氢标准气体制备的影响,并研制出高重复性和灵敏度的分析方法,用于所研制标准气体的量值检验。