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通道效应在透射电镜样品厚度估测中的应用
通道效应在透射电镜样品厚度估测中的应用
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Zoeyha
【摘 要】
:
通道效应是出射波函数的样品厚度周期效应。像差校正高分辨像中像点强度随样品厚度的变化正是这种效应的直接体现。本文提出了利用通道效应估测样品厚度的方法,通过多片层法高
【作 者】
:
李月亮
朱静
【机 构】
:
清华大学北京电子显微镜中心材料学院新型陶瓷和先进工艺国家重点实验室先进材料教育部重点实验室
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
2014年6期
【关键词】
:
通道效应
像点强度
负球差成像
样品厚度估测
多片层法像模拟
channeling effectcolumn intensitynegative Cs imag
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通道效应是出射波函数的样品厚度周期效应。像差校正高分辨像中像点强度随样品厚度的变化正是这种效应的直接体现。本文提出了利用通道效应估测样品厚度的方法,通过多片层法高分辨像模拟,研究了元素种类、离焦量、像散以及带轴偏离等参量对于厚度估测的影响,并以钛酸钡陶瓷样品为实例,对厚度进行了估测。
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