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在广泛地比较了各种设计方案产业化的难易程度的基础上,最终确定了符合现有的工艺条件、易于产品化以及与其他产品生产相兼容的最佳方案,给出了MEMS的具体的工艺流程.
硅电容式压力传感器
【摘 要】
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在广泛地比较了各种设计方案产业化的难易程度的基础上,最终确定了符合现有的工艺条件、易于产品化以及与其他产品生产相兼容的最佳方案,给出了MEMS的具体的工艺流程.
【机 构】
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辽宁大学,辽宁大学
【出 处】
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辽宁大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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0年期
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