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本文首先就用来制造有源矩阵液晶显示器的非晶硅和多晶硅材料作了性能比较,然后描述了多晶硅薄膜晶体管阵列的制造方法,以及在制造方法上取得的进展。
多晶硅有源矩阵液晶显示器
【摘 要】
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本文首先就用来制造有源矩阵液晶显示器的非晶硅和多晶硅材料作了性能比较,然后描述了多晶硅薄膜晶体管阵列的制造方法,以及在制造方法上取得的进展。
【机 构】
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安阳电子管厂河南455000
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1993年1期
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