【摘 要】
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本文介绍了聚乙烯醇（PVA）衬底薄膜晶体管（TFT）的器件制备、电学性能分析和器件溶解特性的演示。该器件以高介电材料氧化铪（HfO2）作为绝缘层，铝掺杂氧化锌（AZO）作为有源层，铝作为栅极、源级与漏极。采用低温磁控溅射（PVD）法成功在PVA衬底上制备出高介电常数（高k）绝缘层的薄膜晶体管，并基于该器件的绝缘层结构做了进一步优化：利用氧化铪（HfO2）氧化铝（Al2O3）的叠层结构作为绝缘层。结
【机 构】
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吉林建筑大学寒地建筑综合节能教育部重点实验室
【基金项目】
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吉林省科技发展计划（No.20200201177JC）； 吉林省科技厅中央引导地方科研项目（No.202002012JC）； 吉林省教育厅科学技术研究项目（No.JJKH20210256KJ,No.JJKH20210277KJ,No.JJKH20210276KJ）～～；
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本文介绍了聚乙烯醇（PVA）衬底薄膜晶体管（TFT）的器件制备、电学性能分析和器件溶解特性的演示。该器件以高介电材料氧化铪（HfO2）作为绝缘层，铝掺杂氧化锌（AZO）作为有源层，铝作为栅极、源级与漏极。采用低温磁控溅射（PVD）法成功在PVA衬底上制备出高介电常数（高k）绝缘层的薄膜晶体管，并基于该器件的绝缘层结构做了进一步优化：利用氧化铪（HfO2）氧化铝（Al2O3）的叠层结构作为绝缘层。结果表明相比于单层氧化铪绝缘层结构的TFT，叠层结构绝缘层的TFT器件性能更优，具有更低的漏电流、更高的开关比和较低的亚阈值摆幅，更适合作为聚乙烯醇衬底薄膜晶体管的绝缘层。“三明治”叠层结构绝缘层的器件开/关比达到2.5×10~6，阈值电压为10.6 V，亚阈值摆幅为0.53 V·dec-1，载流子迁移率为3.01 cm~2·V-1·s-1。
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