【摘 要】
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光刻机光瞳整形普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对其光学特性的检测需求,提出了一种光刻机光瞳整形DOE远场多参数检测方法。该方法通过对远场光强分布进行
【机 构】
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中科院上海光学与精密机械研究所信息光学与光电技术实验室; 中国科学院大学;
【基金项目】
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国家国际科技合作项目(2011DFR10010);国家科技重大专项课题(2011ZX02402)
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光刻机光瞳整形普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对其光学特性的检测需求,提出了一种光刻机光瞳整形DOE远场多参数检测方法。该方法通过对远场光强分布进行转换,可同时获得DOE远场衍射图样的极平衡性、极张角、极方位角、半孔径角和径向光强分布等多种光学特性参数。实验中,对国外加工的产生四极照明模式的DOE进行了远场多参数检测与分析,结果表明该方法可以满足光刻机光瞳整形DOE的检测要求。
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