【摘 要】
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通过微波软件建模和理论分析方法来分析BST铁电薄膜材料在微波集成电路中的应用,旨在指导器件设计。借助microwave office和Ansoft HFSS＆Q3D两个商业软件,构造微带传输线,共面
【机 构】
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上海交通大学电子信息与电气工程学院薄膜与微细技术教育部重点实验室,中国工程物理研究院
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通过微波软件建模和理论分析方法来分析BST铁电薄膜材料在微波集成电路中的应用,旨在指导器件设计。借助microwave office和Ansoft HFSS＆Q3D两个商业软件,构造微带传输线,共面波导传输线,微带低通滤波器和信号串扰等模型,并分析了加入钛酸锶钡（简称BST）薄膜前后各种模型的散射参数（S参数）和群延时。随后,在SiO_2和BST间加入过渡层（LNO,MgO）,模拟分析微波元件参数的变化。同时还仿真分析了不同硅衬底厚度和不同BST薄膜厚度情况下的能量延时和S参数。结果表明,由于BST铁电薄
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