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本文在高电子迁移率晶体管(HEMT)小信号等效电路模型的基础上,考虑了A1GaN/CmNHEMT的结构特性,具体分析了寄生参数和本征参数的提取方法.采用这些方法,实际测量了5~10GHz频率下HEMT器件的小信号S参数并提取了它的电学参数。S参数的计算值与实际测量值进行了比较.实验结果表明此方法简单易行。较为精确.