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<正>常用高纯气体输送管路的洁净,大致包括:①管路中管道及附件等内壁表面的洁净处理,一般以脱脂、腐蚀、纯水置换和高纯氮气干燥等过程为主的高纯处理法,以机械为主的研磨与抛光,和以理化过程为主的氢气光滑法;②管路的正压
电子工业用高纯气体输送管道的洁净
【摘 要】
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<正>常用高纯气体输送管路的洁净,大致包括:①管路中管道及附件等内壁表面的洁净处理,一般以脱脂、腐蚀、纯水置换和高纯氮气干燥等过程为主的高纯处理法,以机械为主的研磨与
【出 处】
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深冷技术
【发表日期】
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1985年03期
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