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近年来,国内外在MEMS器件的失效机理和可靠性方面做了大量的研究。概述了MEMS器件中常见的失效模式及其失效机理,包括粘附、磨损、金属蠕变、脆性断裂、分层和碎屑污染,并讨论了金属薄膜与其宏观部件在机械特性上的区别,以及金属断裂与脆性材料断裂的不同失效机理。
关于MEMS器件失效机理的讨论
【摘 要】
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近年来,国内外在MEMS器件的失效机理和可靠性方面做了大量的研究。概述了MEMS器件中常见的失效模式及其失效机理,包括粘附、磨损、金属蠕变、脆性断裂、分层和碎屑污染,并讨
【机 构】
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工业和信息化部电子第五研究所华东分所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2018年1期
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