【摘 要】
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现代低温泵的冷源是微型制冷机。制冷机在某些工况下，实际净制冷量随制冷温 度、氦压力差等因素而变化，一级冷头负载的大小对二级冷头温度也有明显的影响。本 文着重讨论了制冷
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现代低温泵的冷源是微型制冷机。制冷机在某些工况下，实际净制冷量随制冷温 度、氦压力差等因素而变化，一级冷头负载的大小对二级冷头温度也有明显的影响。本 文着重讨论了制冷机负载特性的变化对现代低温泵的抽速、极限压强、抽气容量等抽气特 性的影响。
The cold source of a modern cryogenic pump is a miniature refrigerator. In some cases, the actual net cooling capacity varies with the cooling temperature, helium pressure difference and other factors, and the size of the primary cold head load also has a significant impact on the temperature of the secondary cold head. This article focuses on the changes of the load characteristics of the refrigerator on the pumping speed of modern cryogenic pump, ultimate pressure, suction capacity and other pumping characteristics.
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