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[期刊论文] 作者:吴畯苗,邹德恕,沈光地, 来源:微电子学与计算机 年份:2004
介绍了一种可工作于室温环境下的微型气动式红外探测器,它基于气体介质吸收特定波段的红外辐射后以无辐射气动方式激励并产生一系列热效应的物理基础,可获得包含红外辐射源信...
[期刊论文] 作者:李兰,沈光地,邹德恕,刘铮,邓军,杨道虹,吴畯苗, 来源:光电工程 年份:2004
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器.当密闭腔内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的...
[期刊论文] 作者:杨道红, 徐晨, 董典红, 李兰, 吴畯苗, 张剑铭, 阳启明,, 来源:北京工业大学学报 年份:2004
[期刊论文] 作者:杨道红,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张剑铭,阳启明,金文贤,, 来源:北京工业大学学报 年份:2004
为了实现在较低超净环境下的硅/硅直接键合,提出了在乙醇的环境中进行硅/硅键合的方法,并建立了合理的物理模型,在常温、常压和低于10万级超净环境下,用普通的国产硅片进行了...
[期刊论文] 作者:董欣,吴畯苗,邹德恕,史衍丽,邓军,杜金玉,高国,沈光地, 来源:传感器技术 年份:2001
在微传感器和微机械结构的静电键合实验中,当加电压到键合片对上时,外电路的电流迅速上升到一定值后,不是逐渐减小,而是较缓慢的继续上升,或在某一值停留一段时间再逐渐减小到最小......
[期刊论文] 作者:杨道虹,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张剑铭,阳启明,金文贤,, 来源:城市道桥与防洪 年份:2004
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者:杨道虹,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张建铭,阳启明,邹德恕,, 来源:仪表技术与传感器 年份:2004
介绍了一种基于MEMS技术的新型室温中远红外波段硅基电容式红外探测器原理和制作工艺过程,并详细介绍了针对单面光刻机而采用的对准孔双面对准和键合对准技术、浓硼扩散EPW腐...
[期刊论文] 作者:杨道虹,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张建铭,阳启明,邹德恕,沈光地, 来源:仪表技术与传感器 年份:2004
介绍了一种基于MEMS技术的新型室温中远红外波段硅基电容式红外探测器原理和制作工艺过程,并详细介绍了针对单面光刻机而采用的对准孔双面对准和键合对准技术、浓硼扩散EPW腐...
[期刊论文] 作者:杨道红,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张剑铭,阳启明,金文贤,邹德恕,沈光地, 来源:北京工业大学学报 年份:2004
为了实现在较低超净环境下的硅/硅直接键合,提出了在乙醇的环境中进行硅/硅键合的方法,并建立了合理的物理模型,在常温、常压和低于10万级超净环境下,用普通的国产硅片进行了无......
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