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[期刊论文] 作者：夏楠君,王文丽,,
来源：清洗世界 年份：2015
分析自动超声波硅片清洗机设备的整个系统组成和器件的选型及维护。...
[期刊论文] 作者：祝福生, 郭春华, 夏楠君,,
来源：电子工业专用设备 年份：2016
介绍了几种常用泵的原理及在湿法腐蚀清洗设备中的典型应用。...
[期刊论文] 作者：王文丽,夏楠君,陈仲武,,
来源：清洗世界 年份：2015
简述了兆声波清洗工艺的原理、特点,介绍其在清洗设备中的应用与前景。...
[期刊论文] 作者：祝福生, 郭立刚, 夏楠君, 王文丽,,
来源：电子工业专用设备 年份：2020
干燥的目的是去除晶片表面的液体,保证晶片的洁净度。干燥技术作为湿法清洗最后的步骤,最终决定了晶片清洗的表面质量。分别探讨了离心甩干干燥单元、IR干燥、Marangoni干燥...
[期刊论文] 作者：祝福生, 夏楠君, 赵宝君, 黄鑫亮, 王文丽,,
来源：电子工业专用设备 年份：2019
介绍了硅湿法刻蚀的工作原理,分析了影响硅刻蚀均匀性的主要因素,重点阐述了在湿法腐蚀设备中提高硅刻蚀均匀性的方法。...
[期刊论文] 作者：祝福生,夏楠君,王文丽,郭立刚,赵宝君,
来源：清洗世界 年份：2019
硅抛光片清洗的目的在于清除有机物沾污、表面颗粒、金属沾污、自然氧化膜等。本文阐述了硅抛光片湿法清洗的工作原理,并对硅抛光片全自动湿法设备的组成、结构及单元模块的...
[期刊论文] 作者：夏楠君,祝福生,范文斌,王文丽,刘凯文,王洪建,
来源：清洗世界 年份：2019
本文介绍了一种由PLC、触摸屏、配液隔膜泵、配液气控阀、流量测量计、化学配液管路以及气动控制系统构成的自动配液系统,详细描述该系统的使用原理和标定方法,并以一种叶轮...
[期刊论文] 作者：王勇威,夏楠君,亢喆,马雪婷,吴娖,郭立刚,
来源：电子工业专用设备 年份：2020
减薄设备是半导体工艺中的关键设备,针对软脆材料的化学腐蚀减薄,研制出一种高精度化学腐蚀减薄机。通过分析与减薄精度相关的参数,提出采用质量测量法来提高设备测量精度;通...
[期刊论文] 作者：王文丽,黄鑫亮,夏楠君,祝福生,赵宝君,王勇威,
来源：清洗世界 年份：2019
本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。...
[期刊论文] 作者：李燕玲, 黄鑫亮, 王勇威, 郭立刚, 王文丽, 夏楠君,,
来源：电子工业专用设备 年份：2018
湿法腐蚀清洗设备湿区对洁净度有严格要求，流场分布对其影响很大，通过 Fluent 对湿区的流场进行分析，建立流场数值模型和几何模型并对流场进行数值计算;改变槽体化学槽气体溢出......
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