搜索筛选:
搜索耗时0.1073秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 35 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：张蓓榕,忻佩胜,
来源：华东师范大学学报：自然科学版 年份：1994
本文介绍了用测试结构做的Ａｌ－Ｓｉ（１％）互连线的电迁移加速寿命试验。加速温度为１７５℃，电流密度为１－３×１０＾６Ａ／ｃｍ＾２。观察到线条的不同几何因素（长、宽、厚），不同的溅射工艺和钝化层，以及氧化层台阶都对电迁......
[会议论文] 作者：张蓓榕,忻佩胜,孙沩,
来源：中国电子学会电子产品可靠性与质量管理分会第六届学术年会 年份：1992
...
[期刊论文] 作者：张蓓榕,忻佩胜,孙沩,
来源：华东师范大学学报(自然科学版) 年份：1994
本文介绍了用测试结构做的Ａｌ－Ｓｉ（１％）互连线的电迁移加速寿命试验。加速温度为１７５℃，电流密度为１－３×１０６Ａ／ｃｍ２。观察到线条的不同几何因素（长、宽、厚），不同的溅射工艺和钝化层，以及氧化层台阶都对电迁移寿......
[期刊论文] 作者：茅惠兵,忻佩胜,赖宗声,
来源：半导体光电 年份：2003
讨论了一种具有Fabry-Perot结构的新型微机械光调制器,该光调制器由表面微机械工艺制备.理论分析表明,正弦信号、带直流偏置的正弦信号和方波对光调制器的驱动结果是完全不同...
[期刊论文] 作者：茅惠兵,忻佩胜,柯菁华,赖宗声,
来源：电子学报 年份：2002
本文主要讨论了具有机械式抗反射开关 (即MARS)结构的新型微机械光调制器 .MARS结构光调制器由表面微机械工艺制备 .测量结果表明 ,微机械光调制器有一系列的固有频率 .当器件被正弦信号激励时 ,其响应信号也是正弦信号 .当器件被方波信号激励时 ,响应信号和激......
[期刊论文] 作者：茅惠兵,忻佩胜,胡梅丽,赖宗声,
来源：半导体技术 年份：2002
讨论了微机械微波/射频开关的原理、制备工艺和功能测试。微机械接触式微波/射频开关的基本结构是微波共平面波导,在制备工艺中首先考虑的是工艺兼容性,为此选择以PECVD生长...
[期刊论文] 作者：忻佩胜,丁玲,石艳玲,朱自强,赖宗声,
来源：半导体技术 年份：2001
对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能.应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式开关,实验结果表明,开关具有较低的激励电压...
[期刊论文] 作者：茅惠兵,忻佩胜,胡梅丽,赖宗声,
来源：微电子学 年份：2003
文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试.微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通.考虑...
[会议论文] 作者：秦元菊,忻佩胜,范忠,丁玲,赖宗声,
来源：第七届全国固体薄膜学术会议 年份：2000
该文主要研究TMAH对硅和铝的刻蚀情况。首先，做了不同条件下（浓度从2℅wt到25℅wt）TMAH对硅的腐蚀实验，发现对硅的腐蚀速率随温度升高而增大?随浓度增大而减小；纵向腐蚀与横向腐蚀......
[期刊论文] 作者：李炜,石艳玲,忻佩胜,朱自强,赖宗声,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2003
详细分析了多种参数对MEMS电容式开关驱动电压的影响,包括材料选取和工艺参数变化,并对驱动电压理论值进行计算.利用表面微机械加工技术在硅衬底上实现了电容式开关,测试结果...
[期刊论文] 作者：李炜,石艳玲,忻佩胜,朱自强,赖宗声,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2003
制备了一种低阻硅基厚膜聚酰亚胺上的高性能共面波导传输线,并从理论上分析了传输线损耗的成因及其计算方法.聚酰亚胺膜厚11.5 μm的低阻硅(0.5 Ω·cm)上的共面波导传输...
[期刊论文] 作者：石艳玲,卿健,忻佩胜,朱自强,赖宗声,,
来源：城市道桥与防洪 年份：2002
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：龙永福,朱自强,赖宗声,忻佩胜,石艳玲,
来源：半导体学报 年份：2002
提出在单片微波集成电路 (MMIC)中用多孔硅 /氧化多孔硅厚膜作微波无源器件的低损耗介质膜 .研究了厚度为 70μm的多孔硅 /氧化多孔硅厚膜在低阻硅衬底上的形成 ,这层厚膜增...
[会议论文] 作者：李炜,卿健,石艳玲,忻佩胜,赖宗声,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
本文详细分析了多种参数对MEMS电容式开关下拉电压的影响,包括材料选取和工艺参数变化,并对下拉电压理论值进行计算.利用表面微机械加工技术在硅衬底上实现了电容式开关,测试...
[会议论文] 作者：丁玲;秦元菊;忻佩胜;茅惠兵;赖宗声;,
来源：第一届全国纳米技术与应用学术会议 年份：2000
该文论述了应用于微波和毫米波段的MEMS微机械电容开关的结构、原理及工艺流程和制作方法。执行开关动作的元件是一层薄的金属薄膜桥，根据外加偏压它有两种状态：动作或静止。当......
[会议论文] 作者：卿健,忻佩胜,石艳玲,赖宗声,朱自强,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
频率特性是移相器设计中需要考虑的重要参数之一.在RF MEMS分布式移相器中,由于周期结构的引入,产生了工作上限截止频率即Bragg频率.本文详细讨论了Bragg频率产生的原因及其分析方法,用Agilent ADS软件对RF MEMS分布式移相器进行了S参数仿真,研究了不同结构参数......
[期刊论文] 作者：游淑珍,石艳玲,忻佩胜,朱自强,赖宗声,
来源：微电子学 年份：2003
多孔硅被认为是RF应用领域中较有潜力的衬底材料.文章利用多孔硅作衬底,制备了微型微波共平面波导,采用多线方法计算出该波导在多孔硅上的插入损耗和有效介电常数;提出了通过...
[期刊论文] 作者：茅有福,张蓓榕,忻佩胜,刘耀民,卢炽宝,
来源：华东师范大学学报：自然科学版 年份：1990
在对铝腐蚀失效因素分析的基础上,针对工艺、材料、钝化、封装气氛等几方面提出措施,并在单项试验取得成效后,再应用于F007模拟集成电路的生产过程。经过加速寿命对比试验和...
[期刊论文] 作者：柯菁华,茅惠兵,赖宗声,忻佩胜,郑筱莉,,
来源：半导体技术 年份：2000
讨论了有关硅基微机械式光调制技术的基本原理和一些相关的制作方法,尝试制作了多层膜光反射调制器样品,并进行了初步测试....
[会议论文] 作者：郭方敏,忻佩胜,赖宗声,朱自强,朱守正,
来源：第八届全国固体薄膜学术会议 年份：2002
开关阵列—相移器是由21-32个隔膜式开关组成.薄膜弹性是开关发生动作的必要条件,本文研究压控式RF MEMS开关阵列—相移器的可动薄膜性能....
相关搜索：
