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[学位论文] 作者：黄军容,,
来源：北京工业大学 年份：2003
本文着眼于LIGA技术高深宽比方面的研究，以提高本实验室用LIGA技术制作微细结构的深宽比为目的，从分析各因素影响深宽比的机理出发，再加以理论设计和实验工艺的优化和改善，分别研......
[期刊论文] 作者：黄军容,彭良强,伊福廷,张菊芳,韩勇,黄军容,蒋毅坚,
来源：过滤与分离 年份：2002
LIGA技术具有加工精度高,深宽比大,表面平整,应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法。将LIGA技术的这些优点充分用于过滤介质的制作中,能改善过滤介质的力学强度、机械...
[期刊论文] 作者：高杨,李枚,彭良强,张菊芳,黄军容,
来源：核技术 年份：2002
本文从LIGA工艺的工程应用角度,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题,初步分析了这两类组件制造对LIGA工艺的需求与要求....
[期刊论文] 作者：韩勇,彭良强,陈迪,伊福廷,张菊芳,黄军容,
来源：微纳电子技术 年份：2003
利用北京同步辐射装置(BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法.结果表明采用自制模压装置,采用排气法可以获得与...
[会议论文] 作者：韩勇,彭良强,伊福廷,张菊芳,黄军容,陈迪,
来源：中国微米/纳米第六届学术年会 年份：2003
利用北京同步辐射装置(BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法.结果表明采用自制模压装置,采用排气法可以获得与...
[期刊论文] 作者：黄军容,彭良强,伊福廷,蒋毅坚,张菊芳,韩勇,
来源：过滤与分离 年份：2002
LIGA技术具有加工精度高,深宽比大,表面平整,应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法.将LIGA技术的这些优点充分用于过滤介质的制作中,能改善过滤介质的力学强度、机械性...
[期刊论文] 作者：黄军容,彭良强,伊福廷,蒋毅坚,张菊芳,韩勇,
来源：微纳电子技术 年份：2003
BSRF中的3B1光束线与LIGA实验站过去使用的3W1光束线相比,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱,但可实现专用光和兼用光两用.现在LIGA实验站移到3B1光束线,为此必须进行新的LIGA...
[会议论文] 作者：黄军容,彭良强,伊福廷,张菊芳,韩勇,蒋毅坚,
来源：中国微米/纳米第六届学术年会 年份：2003
BSRF中的3B1光束线与LIGA实验站过去使用的3W1光束线相比,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱,但可实现专用光和兼用光两用.现在LIGA实验站移到3B1光束线,为此必须进行新的LIGA...
[期刊论文] 作者：邹丽芸,张院春,彭良强,黄军容,伊福延,张菊芳,韩勇,
来源：电加工与模具 年份：2004
比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构，实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点，用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极，再......
[期刊论文] 作者：邹丽芸,张院春,彭良强,黄军容,伊福廷,张菊芳,韩勇,
来源：电加工与模具 年份：2004
比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电...
[期刊论文] 作者：黄军容,彭良强,伊福廷,于润升,魏龙,蒋毅坚,张菊芳,韩勇,
来源：核技术 年份：2002
LIGA技术具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法.实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢化体的制作中,能获得传统加工方法无法制作...
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