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利用北京同步辐射装置(BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法.结果表明采用自制模压装置,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果;真空模压在这四种方法中具有最好的精度,但若不进行工艺参数优化,也会导致变形等问题.
BSRF上的微细塑铸研究
【摘 要】
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利用北京同步辐射装置(BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法.结果表明采用自制模压装置,采用排气法可以获得与
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所,上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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