ion-assisteddeposition相关论文
用Ar离子辅助制备了ZnS和MgF2薄膜,依据滤光片吸潮波长漂移的测量,MgF2膜的聚集密度大约从未轰击时的0.8上升到轰击后的0.9～0.95,实......
从沉积方式、薄膜厚度、沉积温度和离子束能量四个方面，研究了沉积工艺对氟化镱(YbF3)薄膜可靠性的影响。研究结果表明，相较于电阻加......
从沉积方式、薄膜厚度、沉积温度和离子束能量四个方面,研究了沉积工艺对氟化镱（YbF3）薄膜可靠性的影响。研究结果表明,相较于电阻加......
聚焦离子束系统正成为微细加工领域的有力工具。文章简述了聚焦离子束系统的组成和工作原理，着重介绍了该系统在离子束刻蚀、离子束......
