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GaSb基化合物半导体激光器件刻蚀工艺研究
本论文在简要介绍GaSb基化合物半导体激光器及其器件工艺的发展现状后,分析讨论了目前GaSb基材料的刻蚀工艺存在的问题,并将其分为两......
学位
GaSb基化合物
湿法刻蚀工艺
下切效应
表面粗糙度
半导体激光器件
GaSb基化合物半导体激光器器件刻蚀工艺研究
本论文在简要介绍GaSb基化合物半导体激光器及其器件工艺的发展现状后,分析讨论了目前GaSb基材料的刻蚀工艺存在的问题,并将其分为......
学位
GaSb
湿法刻蚀
酒石酸
下切效应
CMP
表面粗糙度
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