二维位移工作台相关论文
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提出以双衍射光栅位移传感器作二维工作台计量标准器的方法，阐述了双衍射光栅位移传感器的位移传感原理，以及光电信号细分处理方法。......
提出以正交衍射光栅作为X Y二维位移工作台计量标准器的思想,阐述了正交衍射光栅作为大量程二维位置检测传感器的工作原理及光路布......
