光栅干涉相关论文
激光自混合干涉是指当激光源输出的一部分光被外部物体反射或散射后,反馈回激光器的光与激光腔内的光相混合后,调制激光器的输出功......
精密定位技术作为精密制造和精密装备的基础,一直制约着我国精密制造和精密装备产业的发展。而纳米级的位移测量技术又是制约精密......
随着现代化科技水平的不断提高，在超精加工、材料科学、生物制药等领域都迫切需要大量程、纳米级精度的计量设备。本文提出了一种基......
讨论了实际条件下相位光栅干涉位移测量时两路正余弦信号与理想信号之间的误差,以及该误差对位移测量精度的影响;分析了常规的正切......
以自准直原理基础,将光栅干涉原理引入,提出了一种能对船体三维变形测量的自准直干涉法.分析了测量三维角度变形的自准直干涉原理,......
本文提出了一种用光栅干涉产生的莫尔条纹进行角度变形测量的新方法,从莫尔条纹的数学模型入手分析了测量原理,可通过测量莫尔条纹......
介绍了光栅尺纳米测量技术的国内外研究现状，并对它们优劣进行了分析，在上述成果的基础上，得出一种以光栅栅距为测量基准，测量精度主要......
利用光栅干涉原理进行船体扭转变形的测量.有别于传统干涉条纹的信息处理方法,提出了对条纹信息提取求船体扭转变形角的两种方法-......
基于光栅干涉原理的高精度微位移测量装置电压灵敏度高,微弱的抖动都会影响测量精度,这些抖动包括空气波动,地面震动,光源波动等,......
超精密定位与检测技术一直是国内外研究热点。目前,在精密制造和精密检测领域,同时达到高速度、大量程、高分辨率的精密定位与检测......
为了实现平面二自由度位移测量,设计并搭建了空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪,并对所设计的光栅干涉仪的光学结构、测量原理......
接触式测量是目前工程表面测量中应用最为广泛的一种。传统的电感式接触测量仪在测量范围、测量精度和测量力三者之间存在着矛盾,......
三维表面形貌的测量与评定代表了表面计量学的一个主要发展方向。现在,显微干涉法已经成为用于定量测量二维轮廓和三维表面形貌的......
微加速度传感器是军械、车辆、船舶等抗冲击、抗振动测量,地震监测,惯性导航与制导系统的重要传感器,特别是微型10-6-10-9g量级的......
在现代社会中,加速度计的设计与生产快速增长,逐渐成为MEMS市场发展的主要动力。性能稳定的加速度计被广泛用于汽车、飞行器以及军......
由于高精密制造技术的飞速发展，微小器件的尺寸不断被突破，达到微米级甚至是纳米级。因此精密定位测量技术也必须不断提升。目前工业......
