本实验中ZnO 及ZnO/Al 薄膜用直流反应磁控溅射法制备。靶选用金属Zn 及金属合金Zn/Al 靶。经快速热退火（RTA）后，通过XRD，UV-VIS-NIR ......

鉴于直流反应溅射制ZAO膜对反应条件敏感,研究发现,经快速热退火(RTA)处理能放宽对反应条件的要求.实验中ZnO及 ZnO/Al薄膜用直流......