低能离子束刻蚀相关论文
在不同氪(Kr)离子束参数下,研究了微波回旋共振离子源对旋转蓝宝石样片表面的刻蚀效果。采用四因素三水平正交实验,分析了Kr
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近年来,铌酸锂晶体因其优良的物理化学特性而迅速发展并被广泛应用,其性能及应用与畴结构关系较大,因此畴结构的加工和制备至关重......
针对蓝宝石有序纳米结构的制备,使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar＋离子束在不同参数下刻蚀蓝宝石（C向）表面形成的自组织纳米结构......
纳米材料有着诸多的优良特性，随着科技的发展，各国对于纳米材料的研究更加深入，纳米材料的发展也更加迅猛。所以本文的核心技术就是可......
利用离子柬溅射诱导实验方法，在单晶Si（100）基底上辅助沉积银膜，研究了低能Ar＋离子束30。入射时，不同离子束能量和束流密度以及基底温度......
使用微波回旋共振离子源,研究Ar+离子束在不同角度、不同入射能量下对蓝宝石表面的刻蚀效果及光学性能。结果表明:所用能量800eV,1......
研究了低能Ar＋离子束对单晶硅表面的刻蚀效果.使用自制的冷阴极离子源,通过控制离子束的入射能量和刻蚀时间等因素,对单晶硅（100）表面......
低能离子束溅射/刻蚀固体表面形成自组织纳米微结构，是一种高效、简便、低成本制造大面积有序纳米结构的方法。该方法具有加工精度......
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