【摘 要】
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使用微波回旋共振离子源,研究Ar+离子束在不同角度、不同入射能量下对蓝宝石表面的刻蚀效果及光学性能。结果表明:所用能量800eV,1 000eV及1 200eV时透过率都有很大的提升,由
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使用微波回旋共振离子源,研究Ar+离子束在不同角度、不同入射能量下对蓝宝石表面的刻蚀效果及光学性能。结果表明:所用能量800eV,1 000eV及1 200eV时透过率都有很大的提升,由原来的50%提高到70%~80%,在能量为1 000eV时增幅最大,能量为1 200eV时增幅最小;在相同能量、不同角度下刻蚀后蓝宝石粗糙度呈先增大后减小的趋势,而在相同角度、不同能量下粗糙度方面无明显规律。刻蚀后表面形貌测试表明:角度不变,能量为1 000eV时出现点状纳米结构,能量为1 200eV时出现柱状纳米结构;能
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