随着硅基MEMS工艺技术与应用水平的不断提高,MEMS的结构从二维结构发展到三维结构,高深宽比微沟槽结构因其具有狭窄而垂直的空气间......

Ｘ射线映射成像包括吸收射线成像和衍射成像。吸收射线成像已在医学诊断、工业材料无损检测等领域得到广泛应用。衍射成像主要用来揭......

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