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六轴工作台相关论文
微结构的静电力显微测量与力学特性测试技术的研究
该文探讨了面向微系统(MEMS)的微检测技术,内容分为两部分:一是基于微晶振的静电力显微测量技术;二是针对微小样品的热-机疲劳测试......
学位
微检测技术
静电力显微镜
扫描探针显微镜
微石英晶振
针式多力传感器
六轴微力传感器
六轴工作台
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