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场发射压力传感器力敏感膜的形变特性分析
利用有限元法计算分析了以阴极尖锥阵列体作为力敏感膜的形变特性,给出了用表达式计算尖锥阵列体形变的修正值,为后继工作提供了可以......
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场发射
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