动镜相关论文
针对光刻投影物镜中动镜X-Y向调节机构精度高、行程小、结构紧凑的需求,提出了一种X-Y向一体式调节机构.所提机构基于四连杆调节原......
克服准直性误差对傅里叶变换光谱仪光谱性能的影响是研制傅里叶变换光谱仪的难点,定镜动态校准技术是解决该问题的好方法,而准直性......
为改进傅立叶光谱仪的光谱图质量和光谱分辨率,从控制的实时性、灵活性及精度方面考虑,提出采用模糊PID算法控制音圈电机的方案。......
在直线扫描式高精度傅里叶变换红外（FTIR）光谱仪系统的研制过程中，为了达到光谱图的质量和分辨率要求，提出了一种利用DSP芯片TMS320F28......
在傅里叶变换光谱仪中,动镜速度的均匀性直接影响光谱图的质量.针对影响速度均匀性的多个因素展开研究,从运动机构自身特性、振动......
动镜驱动控制技术是傅里叶变换光谱仪的重要组成部分。本文从干涉成像光谱技术原理出发，介绍了迈克尔逊型傅里叶变换光谱仪动镜驱动......
为了改进傅里叶变换红外光谱仪的动镜驱动装置,设计了一种基于柔性铰链支撑的动镜扫描系统。采用柔性铰链的支撑方式和音圈电机的......
使用CPLD设计并实现了采用干涉条纹进行测量的光学测量系统中的计数电路部分,取代了传统的多元件分立的电路设计,达到了很好的效果......
通过分析可知，转镜的晃动不影响干涉图的调制度，但会带来干涉图周期的变化．通过研究晃动带来干涉图的周期变化，可找到晃动的容限，结果表......
干涉光谱仪通过动镜的不断运动可以改变光程差,并利用光程差实现定性与定量分析功能,故动镜运动的匀速性以及稳定性对光谱仪的精度......
摆镜扫描傅里叶变换光谱仪利用摆动扫描方式产生光程差,减小了因动镜倾斜带来的误差影响。从摆扫干涉光谱技术原理出发,对摆镜扫描......
你来追我来跑,选择一个晴朗的天气,跟妈妈来一场动镜追赶的游戏吧。A.选择室内有阳光的窗边或者户外阳光下有阴影的区域,宝宝和妈......
介绍了一种基于FPGA的傅里叶变换光谱仪动镜速度测量系统。该系统利用迈克尔逊干涉仪,通过光电转换将干涉条纹转换为干涉脉冲电信......
柔性铰链支撑式动镜系统广泛应用于便携式、工程在线测量的傅里叶变换红外光谱仪中。而在运动过程中,柔性铰链与动镜的微弱形变会......
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信号调制度是摆扫干涉光谱仪的一个重要性能指标。从摆扫干涉光谱技术原理出发，就反射镜的镜面弯曲误差、分束器性能变化和平行动镜......
设计了一种基于立体角镜与固定平面镜组合的紧凑结构型干涉仪系统,分析其光学系统,得到各器件的影响与设计指标。对动镜驱动系统进......
期刊
为提升傅里叶变换红外光谱仪的整体性能,基于立体角镜与平面镜组合的光学结构,设计了一种柔性支撑机构的摆动型动镜机构.建立和分......
期刊
动镜是FTIR光谱仪中唯一不断运动的部件,动镜的匀速运动性能以及动镜与定镜的准直性好坏影响干涉效果和光谱图质量,直接制约着仪器......
动镜扫描系统是傅里叶变换红外光谱仪中唯一不断运动的部件,其扫描的精度与行程直接影响仪器的信噪比、重复性与分辨率等指标。在......
