原子沉积相关论文
由于人口激增和城市化发展进程的加快,人类对淡水资源的需求日益增大;同时,城市化的快速发展也导致了人类面临淡水资源紧缺和水质......
近些年来，随着新型纳米电子器件、新型纳米催化剂等技术的飞速发展，以及一些新的实验技术、手段的采用，使得贵金属粒子在不同衬底上结......
激光驻波场会聚原子的方法是一种新型的制作纳米结构长度传递标准的技术。本论文的研究内容是利用激光驻波场会聚Cr原子的方法沉积......
利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时,原子由于......
为实现对F-P腔腔长的控制,设计了F-P腔腔长锁定控制系统。该系统以633nm稳频激光作为基准光源,通过控制系统驱动压电陶瓷调节F-P腔......
原子在近共振激光驻波场中受光的作用力汇聚沉积,形成以激光半波长为周期的光栅结构.利用半经典模型对钠原子束在不饱和驻波场中的......
在激光汇聚原子束沉积纳米光栅的研究中,半经典理论是一种简单而有效的方法.利用半经典理论模型,对Cr原子在高斯型激光驻波场中的......
利用半经典模型,从铬原子在激光驻波场中的运动方程出发,通过数值解方法模拟了铬原子在驻波场中的运动轨迹,并分析了原子的纵向速......
原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜......
原子光刻实验中,激光驻波场能起到原子透镜的效果,实现原子汇聚.激光驻波场与沉积基片间的距离对形成纳米条纹结构的质量具有重要......
在过去50年期间,光刻技术是促进先进集成电路设计及其器件更新换代的核心技术之一,每一代新的集成电路种类的出现,总是以光刻工艺......
选择TiCl4作为前驱体,使用热型原子沉积（TALD）设备,研究了低温（350℃以下）制备TiO2的生长速率和晶格结构;使用等离子沉积（PEALD）设备,通......
