双端固支硅纳米梁相关论文
NEMS谐振器作为痕量传感器在生化检测等领域应用获得广泛关注，而纳米尺度下器件的谐振特性检测成为一个关键技术问题。在硅基谐振器......
我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究．在（111）硅衬底上，用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242nm的双端固支硅纳......
利用氧化、光刻、刻蚀、溅射等传统MEMS加工工艺,在绝缘衬底上的硅(SOI)基片上制作出一种厚度只有50 nm的双端固支结构的硅纳米谐......
