压阻检测相关论文
随着MEMS、NEMS和纳米制备工艺的发展,器件的微小化、集成化已经成为常规需求。扫描探针传感器的发展,为纳米级探测、扫描、信息存......
随着微米/纳米技术的迅速发展,科学研究的对象不断向微小化发展,微小精密机械零件的装配、微机电系统(MEMS)器件的组装、单细胞操......
NEMS谐振器作为痕量传感器在生化检测等领域应用获得广泛关注，而纳米尺度下器件的谐振特性检测成为一个关键技术问题。在硅基谐振器......
目前商用原子力显微镜(AFM)大多使用的微悬臂式探针,力灵敏度可达到pN级别。然而受到工艺水平及检测方法限制,微悬臂谐振频率难以......
设计、制造和评价了一种新型波纹结构的低流速流量计。对于小流量的测量,在给定的空气流量下,应提高敏感度相关因素、空气阻力和输......
针对基于微机电系统(MEMS)技术的I2形原子力显微镜(AFM)探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I^2形探针的压阻检测设计......
我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究．在（111）硅衬底上，用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242nm的双端固支硅纳......
传统的纳米谐振器压阻检测在工艺上需解决制备结深浅、掺杂浓度高的薄层电阻的技术难题。基于MOS电容衬底压阻的谐振式纳米梁系统......
对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍．与硅压阻器件相比，本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作......
在多种类型的陀螺仪中,以振动式微机械陀螺仪最具代表性,且具有丰富的研究基础和很高的市场占有率。首先介绍了各种检测方式的振动......
为了缩短微机械谐振器的测量时间,提高测量效率。提出了一种针对压阻检测的微谐振器的频率特性测试新方法,该方法利用欧姆鉴相器,......
本论文分为四个章节。第一章是MEMS综述和对本论文工作的引出，第二章提出并论述了一种可以实现片上自标定功能的MEMS悬臂梁磁测量传......
近年来，微小尺度的微机械传感器由于具有多种重要的特性和应用而备受人们的关注。而以微机械传感器中最有吸引力工作方式一谐振方式......
微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)并非单纯的将宏观机械小型化,而是力求把满足特定应用要求的微传感器、微执行......
