反应离化团簇束相关硕士博士期刊学术论文

本论文用反应离化团簇束沉积和磁控溅射制备了ZnO和ZnMnO薄膜,用离子注入方法对薄膜进行了不同元素和不同剂量的掺杂,对样品的结构......