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反应离子束刻蚀(RIBE)相关论文
微盘光谐振腔的制作研究
光谐振腔内的光的不断循环,使得在谐振腔频率附近的光能量的储存成为可能,光学微谐振腔的场的作用和反作用之间的相互作用可以成为一......
学位
微盘光谐振腔
微细加工
光刻
反应离子束刻蚀(RIBE)
XeF2刻蚀
高Q值SiO2微腔
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