微细加工相关论文
在毫米级和亚毫米级（THz）频段,微波真空功率放大器在电子对抗、雷达、通信等领域应用广泛,但是当工作频率提高到W及以上频段,行波管......
表面功能结构是在物体表面加工出不同形貌、不同尺度且具有特定功能的结构，其制造有别于传统机械加工。表面功能结构种类繁多、性能......
具有约瑟夫森效应的高温超导异质结在量子干涉器、太赫兹源及检测器等领域具有广泛的应用前景。目前高温超导异质结的制备存在中间......
碳纤维增强复合材料（以下简称CFRP）具有质轻高强、耐磨、耐蚀等特点,现已逐步应用于微机电系统当中作为主要的结构部件。在CFRP实际......
随着科技的进步与发展,很多领域内的设备都趋于微小型化。在这样的大背景下,制造业也步入了分子时代。在航空航天、电子产品、医疗......
激光二极管泵浦被动调Q微激光器是一种可以实现短脉冲(ps到ns数量级)、高的峰值功率(KW级)、高重复频率(KHz数量级以上)的脉冲激光......
利用波长为248nm的氟化氪（KrF）准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷（PZT）、硅（Si）和聚二甲基硅氧烷（PDMS）,研究了准分子激光对这3种材......
日本三菱电机公司大孤大学和光学技术研究所共同开发了波长266nm,输出功率20W的半导体激光激励全固休紫外激光器。全固体紫外激光......
2001020029电阻激光刻槽机的实时控制系统[中]/谢志平… //光电子技术与信息.-1998,11(6).-24—28
2001020029 Resistance laser ......
<正>本报告以深入的情报跟踪与分析为基础,围绕复杂系统总体设计、虚拟设计与仿真验证、设计/制造集成与协同、数字化车间系统等数......
光纤激光掩膜微细电解复合加工是微细电解加工与激光表面改性技术复合的加工方法,采用光纤激光器在304不锈钢表面以直写方式进行表......
随着微电子、半导体和航空航天等领域科技的发展,工业陶瓷、光学玻璃等难导电硬脆材料逐渐起着越来越重要的作用。石英、陶瓷等硬......
我们每天都会接触很多不同的信息,与环境不停地进行着交流,而主要获取信息的方式就是通过视觉获取,在视觉获取中显示器占有很大的......
电解射流加工技术是一种潜在的高精度微加工的方法,在金属微细制造领域有广泛的应用前景。其加工过程中金属材料的减少以微小的离......
集成电路正向高速、高集成度、高可靠性、低成本和低功耗方向发展,正在按比例缩小单元尺寸,因此迫切需要微细加工、薄层外延、低......
日本明治大学工学部植草新一郎等运用独创的低温工艺试制成在InP衬底上集成二极管、晶体管和光波导等器件,并证实具有实用价值。I......
1.引言近来,作为新型材料的各种陶瓷的开发研究非常热门,希望将之应用于多个领域。作为陶瓷的一种微细形状加工法,将陶瓷浸入蚀刻......
将光纤激光表面改性技术和微细电解加工技术相结合，在不锈钢表面加工复杂微细型腔等微小零件。先利用光纤激光在304不锈钢表面制作......
为了在304不锈钢表面上加工微小结构型腔,一套光纤激光掩膜微细电解复合加工装置被研发,对光纤激光掩膜微细电解复合加工的机理及......
采用深度光刻与电铸技术相结合的方法,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题.在此基础上,利用优化的微细电火花加工工......
飞秒激光脉冲经强聚焦后，可以在很低的平均输出功率下实现GW/cm量级的瞬时激发光强，与连续激光和长脉宽的脉冲激光相比，能以极低的脉......
由于具有无宏观作用力、加工单位小、可控性好等优点，电火花加工在微细加工中显示出了非常巨大的潜力。作为微细电火花加工技术研究......
目前,在航空航天、现代医学和军事工业等领域,对于毫米甚至微米级尺度、具有较高的形位精度以及表面质量、由多种材料构成的精密三......
微电铸技术是近年来发展起来的一种微细加工技术。该项技术是在继承传统电铸优点的基础上,与现代集成电路工艺有机结合而形成的,是......
微细加工技术作为MEMS技术从设计到产品化的整个过程中最关键和基础的环节,已成为当前MEMS技术研究的热点。而在众多的微细加工技......
近些年,随着微电子、能源、生物和医疗等技术领域内微小零部件和微系统的应用越来越广泛,微细加工成为了关键性技术问题。在这种背......
随着航空航天、微电子、激光等现代化科学技术的发展，现代制造技术不断更新和完善，对机械加工工艺提出了越来越高的技术要求。现代制......
陶瓷材料具有众多良好的物理机械性能,如高硬度、高强度、耐腐蚀性以及耐磨性等,因此被广泛应用于微机电领域。然而,完全烧结陶瓷......
微细加工的加工尺度、精度和加工稳定性对其加工系统提出了更高的运动控制精度、分辨率、实时性等要求。宏微两级精密定位平台已广......
科学及其技术的不断进步使得微型化逐渐成为近代工业发展的趋势。随着微细加工技术特别是微机电(MEMS)系统的不断发展,微型机构已......
基于扫描探针的微细加工技术作为一种无掩模的扫描微细加工技术，因其所需设备简单和加工精度高达纳米量级，目前已在纳米机械加工等诸......
氧化铝陶瓷材料具有高的硬度、耐腐蚀、耐高温、耐磨损等优点,在微机电系统中有广泛的应用前景。预烧结是指在低于完全烧结的温度......
磁电复合材料不仅具有铁磁性、铁电性,且由于铁磁相和铁电相之间的耦合协同作用产生了一种新的磁电耦合效应,这种独特的性能使其在......
锆钛酸铅镧(PLZT)具有良好的铁电介电和光学性能，在铁电存储器(FRAM)、动态随机存储器(DRAM)等方面应用前景广阔。本文旨在采用Sol-......
现代微电子业发展迅速，随着集成电路工艺走进亚微米、深亚微米领域，相应迅速发展起来一种新技术——聚焦离子束FIB。 采用镓液态......
微型无膜燃料电池或称为微流体燃料电池是一种无需质子交换膜的燃料电池，其通常由安装在T形或Y形的微通道内的两个电极构成，液体燃料......
钛酸锶钡(BST)系薄膜由于其在IC-Capacitors，VLSI-DRAMs、FRAM等电容存储器，红外热释电成像器件等诸多领域的潜在应用价值，成为目前国......
铁酸铋（BiFeO3）是目前发现在室温下同时具有铁电有序和G型反铁磁有序特性的单相多铁性材料，可用于信息存储、自旋电子器件及传感器等......
PZT系铁电薄膜在微电子和光电子技术中有着十分重要的应用，在该领域的应用与开发主要取决于铁电薄膜的质量和薄膜微图形化技术的提......
继电器是一种常用的基本机电元件,在航空航天领域、计算机、通讯等领域中起着十分重要的作用。通讯继电器是继电器主要应用方向之......
与传统的介质陶瓷滤波器和声表面波滤波器(SAW)相比,基于薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的滤波器具有体积小、工作频率高、插入损耗低......
该论文较系统地研究了带控制栅极碳纳米管场致电子发射器件结构的制作技术及相关科学问题.论文首先用计算机软件对闭合空间中的器......
传统多光谱成像系统通常借助滤光轮来实现光谱的分离。这种多光谱成像系统一次只能获取一个波段的图像，不仅操作不便，集成度也不高。......
利用化学气相沉积、光刻和反应离子刻蚀等微细加工技术,可以制作柔性、低成本、结实耐用、生物科技和半导体技术兼容、可重复使用......
大行程微动工作台是微细加工设备的重要组成部分,针对当前微动工作台行程小,或行程较大而其检测控制复杂等不足,提出了一种“双足......
通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用......
