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含水汽气氛扩散的微晶玻璃片状源特性及其在CMOS中的应用
硼微晶玻璃扩散源使用方便,价格低廉,在半导体器件制造中已应用较长时间。但它在一般预淀积温度下,淀积在半导体表面的硼硅玻璃较......
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复性曲线
淀积
杂质分布
薄层电阻
沟道效应
硼硅
沟道
半导体器件
微晶玻璃
均匀性
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