多自由度测量相关论文
超精密激光测量技术是尖端微电子制造装备不可或缺的核心基础技术,对先进制造和高端装备具有重要的支撑作用。与激光干涉测量技术......
在超精密加工、微电子等现代高技术产业领域,对机床导轨位移和角度的精密测量要求越来越高。传统的多自由度测量仪器如激光干涉仪......
直线度是表征各类高端装备中精密导轨或运动平台性能的重要几何参数,直线度的高精度测量是保证高端装备整体性能的先决条件。直线......
“天琴计划”利用长基线空间激光干涉测量由引力波引起的两自由落体状态检验质量微小间距变化,其中关键技术之一是高精度惯性传感......
针对多自由度测量技术中存在的测量范围有限、精度低和阿贝误差等问题,设计了一种大行程、高精度、可溯源、四自由度同时测量的外......
提出了基于衍射光学器件的单光束多自由度测量的新方法。描述了该方法的基本原理,建立了相应的激光干涉系统的数学模型,设计了一种......
