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干法活化相关论文

用于聚合物基微流体MEMS的等离子体活性晶圆键合技术

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用于聚合物基微流体MEMS的等离子体活性晶圆键合技术(英文)

Lab-on-chip或μ-TAS(micro-totalanalysissystems)结合流体处理、检测及数据分析,是一种便携式的低成本高效器件。在微流体应用中......

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纳米压印光刻热压印干法活化等离子体活化聚合物键合

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