微纳米技术及微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical System, MOEMS)代表着未来科技的发展趋势。微驱动机构作为MOEMS的重要......

介绍了一种采用微驱动技术的新型ＮＣ镗床。讨论了以压电元件为动力部件的变形镗杆的工作原理、机械结构及其设计，简单介绍其控制。装有......

介绍了一种采用微驱动技术的新型ＮＣ镗床。讨论了以压电元件为动力部件的变形镗件的工作原理，机械结构及其设计，简单介绍其控制。装有这......

微纳米技术是二十世纪中后期发展起来的一门新兴交叉学科。随着微纳米技术的迅速发展,人们对微米级、亚微米级,乃至纳米级的微驱动......

微驱动技术是研制MEMS执行器的核心技术。MEMS兼容PZT压电厚膜驱动技术是很有发展前景的微驱动技术。论文对PZT压电厚膜制备工艺;......