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光热膨胀效应相关论文
激光光热驱动技术与微型光热驱动机构研究
微纳米技术是二十世纪中后期发展起来的一门新兴交叉学科。随着微纳米技术的迅速发展,人们对微米级、亚微米级,乃至纳米级的微驱动......
学位
MOEMS
微驱动技术
光热膨胀效应
线性变形体系
热学模型
结构力学模型
虚功原理
光热驱动控制
CCD显微观测
准分子激光微加工
微型光热驱动机构
光热微驱
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