MOEMS扫描光栅微镜是光谱检测分析装备的新一代核心分光器件，它具有分光与扫描功能、体积小、成本低、能单管探测器替代阵列探测器......

本文对扫描微镜的设计与模拟进行了研究。结果表明：当在扫描微镜和外框架上都有驱动力作用时，微镜所产生的运动不仅仅是在微镜上和外......

基于MOEMS技术的微型红外光谱仪,具有体积小、重量轻、使用方便、能二次开发、成本低廉等优点,是近年来研究的热点。论文针对微型......

结合微机电系统（micro-electronic-mechanical system，MEMS）扫描微镜结构以及单晶硅材料正交各向异性的特点，理论分析端面约束单晶硅直......

现有扫描微镜封装结构较为复杂,电路板结构复杂,装配过程繁琐,且两块磁铁距离芯片位置较远,磁铁个体差异可能会造成磁力不够。封装......

设计并研究了一种硅基PZT压电悬臂梁驱动扫描微镜器件.这种扫描微镜采用单晶硅平面微镜面作为光扫描反射元件,由硅基压电复合弹性......

MEOMS扫描微镜作为微光学系统的核心器件,被广泛地应用于光通信、图像显示、自适应光学和光谱分析技术等领域。与传统电机驱动的反......

提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统（MOEMS）扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作......