微电子机械相关论文
微梁是微电子机械系统典型的机电耦合系统。随着微电子机械技术的不断创新与快速发展,微梁系统的准确性和稳定性成为当下重点研究......
微电子机械系统在过去二十年中发展迅速,微机械陀螺随着微电子机械系统技术的发展也在不断进步。微机械陀螺尺寸很小,通常在微米量......
提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置.考虑到光纤出射光束的发散,在有效反射率中引入......
微电子机械系统技术作为新时代发展全面推广的新兴技术,在影响人们日常生活的同时,得到了各个领域发展的认可.本文以现阶段行业发......
本文提出了基于虚拟现实技术的MEMS虚拟设计系统,给出了MEMS计算机辅助设计系统的解决方案.通过这套MEMS虚拟设计系统,设计人员可......
本文借鉴人体内呼吸循环系统的分形结构，利用微电子机械光刻加工工艺，设计制造一套新型分形树状微通道微电子芯片散热器。散热器的初......
针对微电子机械(MEMS)/全球定位(GPS)组合导航系统中,强非线性引起的扩展卡尔曼滤波(EKF)导航精度不高、滤波性能不稳定、收敛速度......
针对由于尺寸效应导致粘着力对微电子机械性能影响的问题,建立了数字微镜的弹性片同基底之间纳米接触的物理模型.根据Hamaker三个......
随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,粘着力对微电子机械性能影响越来越大.本文建立了DMD弹性片同基底之间纳米接触的物理模型;根据......
微电子机械系统技术是一个新兴的应用的技术,其以硅为加工材料将制作对象微型化。腐蚀技术牺牲层技术等技术或复合技术是其所使用......
通信收发机、天线等无线设备的发展趋势是高性能、小体积、低成本.微电子机械系统技术在这一趋势中显现了技术潜力.本文阐述了RF M......
论述了在集成电路和微电子机械微细制造中的光刻技术,为了实现0.1 μm甚至更小特征尺寸的光刻而采用的快速复型技术;这种技术吸收......
基于硅-玻璃结构,设计并制造了一种MEMS电容式差压压力传感器,利用由硅MEMS微纳米加工技术制作的硅可动薄膜作为压力的感测电极,利......
近年来，随着聚合物基MEMS芯片在生物、化学和微光学方面的广泛应用，相应的制作技术成为当前微系统技术的一个研究热点。同时，由于器件......
微结构谐振式压力传感器是通过检测其机械谐振器谐振频率的变化来实现压力测量,它的特点是尺寸小,精度高,稳定性好,易与数字电路接......
微结构谐振式压力传感器是通过检测其机械谐振器谐振频率的变化来实现压力测量，特点是尺寸小，精度高，稳定性好，易与数字电路接口，具有广......
在航空航天、汽车工业、惯性导航、火箭、汽车检测、鱼雷控制领域中,各种新技术不断的涌现,各种器材都在朝着愈来愈微型化的方向发......
以累加思想实现零件制作的快速成型技术（RP），是制造技术领域的一项重大突破，它可以自动、直接、快速、精确地将设计思想从CAD模型，物化......
分析了以微电子机械MEMS技术制成的单片偏航角速率陀螺仪ADXRS150的匹配电路原理与工作原理，阐述了角速率陀螺仪的设计要点，设计并搭......
