掺硼金刚石膜相关论文
在等离子体辅助化学气相沉积金刚石的设备中,进行了金刚石膜的沉积实验.实验室灯丝采用的是钨丝,可以根据不同的实验要求来选择不......
掺硼金刚石膜(Boron-doped Diamond,BDD)电极电化学体系具有背景电流低、析氧电势高、氧化能力强等优异的物理化学性能,因而其在难......
采用微波等离子体化学气相沉积法在本征硅上制备掺硼金刚石膜/碳膜平面式复合电极,其中硅片的一面为掺硼金刚石膜,另一面为碳膜。......
介绍了一种帽状结构的掺硼金刚石膜敏电阻器及其制备工艺。使用PCVD方法在Si4N4或Si基片上淀积掺硼金刚石膜膜,然后在金刚石膜上淀积Ti/Au薄膜形成欧......
采用EACVD(E lectron Assisted Chem ical Vapor Deposition)方法制备了掺硼金刚石膜,并用扫描电镜、拉曼光谱及霍尔效应等测试方......
采用直流热阴极CVD方法,以液态硼酸三甲酯为硼源,在P型(100)硅基片上制备了掺硼金刚石(BDD)膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、激光拉曼光谱仪......
通过MPCVD法在高掺杂硅衬底上生长掺硼金刚石膜(BDD),并用四探针,扫描电镜,激光拉曼,电化学工作站对其进行了检测,发现所制备的掺硼......
随着电真空器件向着小型化,高功率化方向发展,这对微波衰减材料的导热率提出越来越高的要求。目前,国内外的衰减材料大多采用陶瓷......
通过阳极电化学氧化法,制备不同氧化程度的掺硼金刚石膜(BDD)电极,并对其进行表征。分别采用循环伏安法和Mott-Schottky曲线,研究不......
随着人们生活水平的提高,人们对水质的要求也越来越高,但是工业生产中的废水以及水体污染却日趋严重,这势必要我们尽快找到更好的......
为了改进现有的RCA清洗法以及臭氧/过氧化氢湿式清洗技术,利用金刚石膜(BDD)电极的高级电化学氧化技术生成过氧化物氧化有机物,以实现简......
掺硼金刚石膜( B D D) 具有良好的力学性质、 生物相容性和表面抗污染性, 有望在体内植入中保持长期的稳定性.以液态硼酸三甲酯为硼......