论文部分内容阅读
介绍了一种帽状结构的掺硼金刚石膜敏电阻器及其制备工艺。使用ＰＣＶＤ方法在Ｓｉ４Ｎ４或Ｓｉ基片上淀积掺硼金刚石膜膜，然后在金刚石膜上淀积Ｔｉ／Ａｕ薄膜形成欧姆接触电极。结果获得了具有良好温度响应和欧姆接触的金刚石膜热敏电阻器。
掺硼金刚石膜热敏电阻器的制备工艺及温度响应
【摘 要】
：
介绍了一种帽状结构的掺硼金刚石膜敏电阻器及其制备工艺。使用ＰＣＶＤ方法在Ｓｉ４Ｎ４或Ｓｉ基片上淀积掺硼金刚石膜膜，然后在金刚石膜上淀积Ｔｉ／Ａｕ薄膜形成欧姆接触电极。结果获得了具有良好温度响应和
【机 构】
：
电子科技大学信息材料工程学院
【出 处】
：
电子科技大学学报
【发表日期】
：
1996年3期
【基金项目】
：
国家自然科学基金
其他文献
文章讨论了实施素质教育的必然性和当前实施素质教育中存在的若干问题,主要从树立正确的人才观、质量观、教学观三个方面,论证了"转变观念是实施素质教育的关键"这一问题.
本文从物理学史的角度介绍了伽利略运用科学的研究方法对自由落体运动的研究过程,并阐述了伽利略的研究思想及物理学发展史在物理教学中的作用.
【正】创意香槟欢乐颂01时尚界总是会有各种派对活动,而派对的主角香槟像是一位优雅的女人,风姿百态但也不失风趣,总在尝试各种可能。凯歌香槟新近推出的沙丁鱼香槟就让我们
《侵权责任法》的一般条款应该是第2条。侵权责任法一般条款具有确定侵权责任的范围、保护民事权益和维护正当法律程序等重要功能。侵权责任法一般条款的保护范围包括人身权
在清汞电极上研究了１，２，４－三羟基蒽醌－－３－羧酯的电还原行为。极谱研究的结果表明，该电活性物质在滴汞电极上的极谱波在ＰＨ＝３．９时，Ｅ１／２＝－０．４７Ｖ，其电极过程是由扩散控制控制的，电活性物质的电还原过程需要两个电
长托宁是一种新型选择性抗胆碱药，能选择性地作用M1和M3受体，对M2受体无明显作用，用于麻醉前给药优于阿托品。
拓扑度理论对于研究算子方程解的存在性、唯一性、连续依赖性等问题具有重要的理论价值［１］。文献［２，３］利用知扑度方法探讨了一般算子方程ｙ∈（Ａ＋Ｃ）ｘ解的问题，文中在此基础上给出了极大增生算子
利用微机软硬技术集成的思路，采取两台生化分析仪挂接一台微机的二对一模式，既解决了微机软硬件资源共享，减少系统开销的问题，又达到了用外接系统统一管理两台生化仪的检测数据实
宁德城市环境，体现本地城市特色和总体规划。本文主旨阐述，运用合理的城市空间设计理念，指导宁德旧城区的改造、新城区的建设规划等问题。从城市空间设计的角度，探讨宁德城市规划