曝光盲区相关硕士博士期刊学术论文

硅片表面存在台阶时，由于光刻胶的折射作用，会在台阶附近造成曝光盲区，引起光刻残胶。该文给出了残胶量与倾角大小、涂胶厚度之间的解......