光刻工艺相关论文
光刻胶又被称为光致抗蚀剂,是制造半导体器件基材上的光敏保护膜,具有抗刻蚀性能。本论文研究了不同结构的光产酸剂（Photo Acid Gen......
光刻胶产业化过程遇到的第一个技术屏障是实验室优化的材料组分和光刻工艺在工业生产线上不能再现图形，原因是实验室与工业生产线的......
功率半导体器件是电力电子的核心和基础。沟槽功率MOSFET采用了纵向布局,较其他MOSFET器件具有更低的导通电阻的特点,工作中的开关......
光刻技术是半导体集成电路技术发展的主要推动技术，其不断提高的分辨率与图形复制精度成功地将集成电路制造线宽从40多年前的2～3μm......
微电子技术的发展水平和规模是标志国家经济实力的重要标准之一。光刻工艺是集成电路制造中的关键工艺之一,也是电子器件制成中必......
以智慧芽专利数据库中收录的全球126个国家/地区的半导体光刻胶相关专利文献作为研究对象，从专利申请量、申请趋势、专利法律状态、......
微细加工技术是在微观领域相对于传统加工技术而产生的一种新型加工技术,在精密仪器、微小模型、航天、首饰、汽车领域和范围内有......
光刻工艺由于工序繁多，涉及复杂的光化学反应和物理过程，所以优化工艺参数比较困难。本文基于NIKON公司的NSR2005i9c步进式光刻机进......
会议
基于Zernike相衬法原理和相衬板设计理论,利用金属材料Ag具有宽角度消偏振的特性,设计一种低偏振效应的移相膜。采用光刻及镀膜法,......
近日,青岛新核芯高端封测项目首台光刻工艺设备进场仪式在山东青岛西海岸新区举行,标志着该项目建设进入关键性节点,为年底投产奠......
TiNi形状记忆薄膜光刻工艺是此类MEMS器件制作的关键技术之一。研究了剥离工艺(lift|off)用于TiNi薄膜图形化的可行性，并首次利用溅......
United Monolithic Semiconductor 公司已研制成双频倍频器单片电路,可用于从军事到商业通信系统。芯片背部有 RF 和 DC 接地,简......
针对光刻胶刻蚀过程模拟,提出了一种新的2-D动态元胞自动机(CA)算法。算法既有稳定性好的优点,又有运算速度快的优点。采用一些公......
提出一种利用基于数字微反射镜装置（DMD）的数字光刻系统制作掩模版的方法。通过制图软件制作出二元光栅、菲涅耳波带片等衍射光学元......
分析了薄膜淀积工艺、光刻工艺和刻蚀工艺过程中引入的颗粒对光刻图形完整性的影响。采用三相三次多晶硅工艺,光刻制备沟阻或多晶......
针对大面阵CCD成像黑缺陷多的特点,从机理和制作工艺上进行了分析研究。结果表明,CCD成像黑缺陷主要由光刻工艺缺陷引起。光刻LOCO......
针对太赫兹波段高通滤波器,介绍了利用光刻工艺在镀有铝层的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜上进行亚波长结构样品的实验室制备过程,主要......
随着生物医学的深入研究,相衬显微镜在细胞、微生物和组织病理学等方面得以广泛应用。相衬元件置于相衬显微系统物镜后焦面上,将物......
光刻工艺是一种复印图象同化学腐蚀相结合的综合性技术。它先采用照相方法把绘制在图纸上的电路图形、拍摄在感光玻璃版上,经过显......
本文以KLA－221型自动掩模缺陷检查系统硬件资源为研究工具。详尽地描述了ULSI掩模缺陷检查的实际意义、缺陷检查的原理、检查模式。......
用陈化处理过的锌粉为原料,采用高温气相氧化法制备四针状氧化锌材料。应用厚膜、光刻工艺和丝网印刷法制作氧化锌场发射阴极阵列......
树蛙趾端带有椭圆形的吸盘，依靠吸盘所产生的粘附力，可在竖直的墙面或树叶表面上攀爬跳跃，以树蛙吸盘粘附结构的仿生学研究为基础制造......
微流控技术(microfluidics)由于可望实现大大降低试剂消耗，缩短反应时间，减少费用，众多的集成潜力，正在成为新一代生物分析技术的重要......
由于溅射薄膜压力传感器具有精度高、蠕变小、抗干扰能力强等诸多优点,因而在工业生产中得到了广泛应用。论文以磁控溅射薄膜压力......
物体表面具有一定的表面织构会对其摩擦特性产生明显影响,作为表面织构的一种,微坑阵列结构常被应用于活塞缸套等物体表面,起到储......
微纳结构在现代科学技术发展中占据着非常重要的地位,它具备体积小、重量轻以及易集成等优点,对于系统的微型化、节能以及稳定性的......
有机薄膜器件的快速发展使有机薄膜电路受到了广泛关注,而光刻工艺作为快速、高分辨率的图案化手段,将其应用于有机电路的制备必然......
无线终端的多功能化对频率器件提出了微型化、低功耗、高性能等要求。传统射频频率器件的解决方案主要是微波介质陶瓷和声表面波(S......
自从2004年石墨烯被发现以来,因其独特的结构、非比寻常的电学性能与光学性能、良好的机械性能以及热稳定性得到了越来越多的关注......
本论文应用射频磁控溅射方法制备了良好的C轴取向的ZnO薄膜，摸索了最佳的溅射工艺参数，并对所制备薄膜的结构、电学性能进行了测试分......
人类在创造文明的同时,也在破坏生态环境。工业废气、汽车尾气、家庭使用的液化石油气、天然气、煤气等有毒性及可燃性气体不仅严......
宏孔硅可应用于微通道板和光子晶体等多个领域。制备规则排列的宏孔硅阵列结构首先需要在硅片表面加工诱导坑。本文对各向异性湿法......
学位
电场力驱动的液体透镜在没有机械力辅助的状态下能可控地、动态地调节焦距，具有超薄、微型化等优点，是传统透镜不可比拟的。电场力驱......
彩色滤光片是液晶显示器重要组成部件，发展液晶显示器(LCD)产业，彩色滤光片技术是必须掌握的关键技术。彩色滤光片的技术重点又在于......
本论文利用磁控溅射、飞秒微加工和光刻工艺等实验手段制备了两类太赫兹波段的周期型金属亚波长微结构。并利用太赫兹时域光谱技术......
光散射薄膜器件是光束整形器件中重要的光学器件之一。散射薄膜器件的光散射方式通常分为表面散射型和体内散射型,其分别利用基体......
二次谐波是一种重要的二阶光学非线性效应，在探测、传感、成像领域有广泛的应用价值，同时可以作为一种基础的频率变换手段。金属表面......
随着科学技术与社会经济的高速发展与不断完善,我国半导体工程得到快速发展,光刻技术是集成电路的关键技术之一,对整个制造成本的......
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3.14计量在2008年,计量技术工作组专注于对光刻计量和前端工艺计量技术需求的更新。新的光刻工艺,例如二次图形生成、隔离层二次图......
采用含硅量较高(23wt%)的新型光致抗蚀剂实现了55nm的各种特性,获得了较高的耐腐蚀性能,并降低了线条边缘粗糙度.结果还表明,这种......
